Puls laser depozisyon (PLD) sistemi ince film üretimi için tasarlanmış evyapımı kullanıcı dostu bir sistemdir. PLD sistemi kullanılarak bulk malzeme bir alt tabaka üzerine ince bir katman olarak kaplanabilmektedir (Kılıç ve Durmuş, 2016).
Puls Laser Depozisyon (PLD) tekniği çok yönlü ve kolay uygulanabilirliği açısından metal, karbon, yarıiletken, seramik gibi çeşitli malzemelerden ince film yapıların elde edilmesi için kullanılmakta olan yöntemler arasında en yaygın olarak kullanılanlarından birisidir (Kılıç ve Durmuş, 2016). Bu doğrultuda fullerene C60 molekülü hedef olarak kullanıldığında PLD tekniğinde oldukça verimli sonuçlar alınmaktadır. Bu sistem kullanılarak pelet haline getirilmiş C60 numunesi ve silika cam üzerine kaplanmıştır. Çeşitli alt tabaka sıcaklıklarında büyütülen ince film yapıların optik ve bazı elektronik özellikleri incelenmiş ve sonuçlar ortaya konulmuştur (Ekinci ve ark., 2014).
Bu PLD sistemindeki numune tutucu ve alt tabaka tutucu iki adet step motor ile homojen ve arzulanan sabit hızlarla döndürülmektedir. Aynı zamanda alt tabaka, 4-1000 °C arasında değerlere ısıtabilecek şekilde tasarlanmıştır ve sıcaklığın kontrol altında tutulabilmesi için de soğutma sistemi kullanılmaktadır. Soğutma sistemi ile alt tabaka 4 °C değerine kadar soğutulabilmektedir [1-2, 4] (Kılıç ve Durmuş, 2016; Yiğit Gezgin ve ark., 2016; .
 |
 |
 |
Şekil 1. PLD sistemi kullanılarak elde edilen farklı malzemelere ait plazma şekilleri
Sistem, numune alt tabaka ısısını (Optris 3MH1-CF3 model infrared termometre) sürekli olarak monitörize etmekte ve ince film üretim süresince alt tabaka sıcaklığı sürekli gözleme imkânı vermektedir. Diğer taraftan, mevcut sistem, ince film depozisyonu süresince, depozit edilen ince filmin kalınlığını in-situ olarak sürekli ölçme/monitörize etme özelliğine sahip bir şekilde tasarlanmıştır. Kalınlık ölçüm bilgisi, MPROBE VIS (Semiconsoft, Inc.) ürünü kullanılarak gerçekleştirilmektedir.
Sisteme bağlı aparatlar:
-In Situ Sıcaklık Ölçüm Sistemi
-In Situ Kalınlık Ölçüm Sistemi
-Alttabaka ve Isıtma-Soğutma Mekanizması
 |
 |
 |
Şekil 2. Grubumuz tarafından yerli olarak tasarlanan ve üretilen PLD sisteminin şematik görünümü ve sistemin üstten görünümü verilmiştir.
Ekinci L., Kepceoğlu A., Yiğit Gezgin S., Gündoğdu Y., Akbaş M., Durmuş H., Kılıç H.Ş., (2014), Turkish Physical Society 31th International Physics Congress, “Puls Laser Depozisyon (PLD) Sistemi Kullanılarak C60 İnce Filmlerinin Üretimi Ve Karakterizasyonu”, Muğla, Turkey.
Kılıç, H.Ş., Durmuş, H., Yeni Bir Puls Laser Depozisyon (PLD) Sistemi :Tasarımı, Üretimi Ve Uygulamaları, (2016), Selçuk Üniversitesi Teknik Eğitim Fakültesi Teknik Online Dergisi.
Yiğit Gezgin S., Kılıç H.Ş., Kepceoğlu A., Bayır S., Nalbantoğlu İ.E., Toprak A, (2016), “Plasmonic Tuning of Gold Doped Thin Films for Layers of Photovoltaic Device”, In 9th International Physics Conference of the Balkan Physical Union (BPU-9) (Vol. 1722, P. 200013). AIP Publishing (a).
Yiğit Gezgin S. Kepceoğlu, A. and Kiliç, H.S., (PLD), SPR Effects Observed On The Gold Thin Film Produced By The Pulsed Laser Deposition: Simulation And Experimental Study. (To be Published) (b).
